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占用空间小：3.5 毫米 x 3.5 毫米。
重复性：0.5 sccm + 0.5% 测量值。
测量流量达到 500 slm 或更高。
完全温度补偿以获得可靠的流量信号。
可配置的操作模式和功能。 
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FLUSSO流量传感器FLS110系列
详细信息 占用空间小：3.5 毫米 x 3.5 毫米。
重复性：0.5 sccm + 0.5% 测量值。
测量流量达到 500 slm 或更高。
完全温度补偿以获得可靠的流量信号。
可配置的操作模式和功能。 |